超精密机床部件有什么特点,超精密机床的进给机构通常采用什么样装置?精密与超精密加工对环境有哪些要求?
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相比较普通机床,超精密加工机床的主轴部件和进给系统有何具体的特点?
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超精密机床导轨部件要求有极高的直线运动精度,不能有爬行。除要求导轨有很高的制造精度外,还要求导轨的材料具有()、()和()。