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例举离子注入设备的5个主要子系统。
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1、阐述宗教舞、民间舞的定义，及例举各自5个以上的个案
阐述宗教舞、民间舞的定义，及例举各自5个以上的个案
2、离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。
离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。A能量B剂量
3、离子注入工艺需要控制的工艺参数及设备参数有哪些？
离子注入工艺需要控制的工艺参数及设备参数有哪些？
4、为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染，可在靶室前增加一个（）或采用无油泵。
为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染，可在靶室前增加一个（）或采用无油泵。A液氮冷阱B净化阱C抽气阱D无气泵
5、离子注入的缺点之一是注入设备的复杂性。
离子注入的缺点之一是注入设备的复杂性。A正确B错误
6、阐述古典舞、国标舞的定义，及例举各自5个以上的个案
阐述古典舞、国标舞的定义，及例举各自5个以上的个案
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