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离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。

离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。

A砷化氢
B二硼化氢
C三氟化硼
D硅烷
E氧气

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分类：集成电路制造工艺员（三级）题库,集成电路制造工艺员题库

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