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比较投影掩模版和光学掩模版有何异同？说明采用什么技术形成投影掩模版上的图形？

比较投影掩模版和光学掩模版有何异同？说明采用什么技术形成投影掩模版上的图形？

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分类：集成电路工艺原理题库,电子与通信技术题库

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