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薄膜沉积的机构，依发生的顺序，可以分为这几个步骤。其中不包括（）。

薄膜沉积的机构，依发生的顺序，可以分为这几个步骤。其中不包括（）。

A形成晶核
B晶粒自旋
C晶粒凝结
D缝道填补

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