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问题

在半导体工艺中,与氮化硅比较,二氧化硅更适合应用在()。


在半导体工艺中,与氮化硅比较,二氧化硅更适合应用在()。

  • A晶圆顶层的保护层
  • B多层金属的介质层
  • C多晶硅与金属之间的绝缘层
  • D掺杂阻挡层
  • E晶圆片上器件之间的隔离
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