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下列可作为磷扩散源的是（）。

下列可作为磷扩散源的是（）。

A磷钙玻璃
B三氯氧磷
C三氯化磷
D磷烷
E掺磷二氧化硅乳胶源

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分类：集成电路制造工艺员（三级）题库,集成电路制造工艺员题库

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