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CCD(电荷耦合器件)的基本单元是MOS电容,在P型硅基质上,通过氧化生成的


CCD(电荷耦合器件)的基本单元是MOS电容,在P型硅基质上,通过氧化生成的氧化膜,即二氧化硅绝缘层,再在绝缘层上通过蒸发和()形成条形金属电极就构成了MOS结构。

  • A光刻技术
  • B转移电荷
  • C光电效应
  • D光电转化
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